LEYSPEC 残余气体分析仪 (RGA) 产品系列可实现简单直观的操作。
按下按钮,即可显示关键气体的分压,如果您的工艺涉及额外的气体,还可以将其分配到备用显示通道进行显示。
LEYSPEC 可达到较高的加热除气温度,因此非常适合在要求苛刻的高真空和超高真空应用中使用。