超高真空泵系统

全系列无振动、免维护的钛离子泵、钛升华泵 (TSP) 和非蒸发型吸气剂(NEG) 泵，可在超高真空中实现出众的极限压力。

• 在超高真空下具有高抽速

• 无烃真空

• 长时间运行

• 整体解决方案

• 抽速 0.2 - 1200 l/s

• 极限真空 < 1 x 10-11mbar

• 含钛阴极的 TiTan CV，用于抽取空气和活性气体

• TiTan DI 用于抽取空气和活性气体和惰性气体（钛和钽阴极）

• TiTan TR - 经典三极离子泵，可在高压范围内实现更高的抽速，对惰性气体抽速稳定

• 多种可供单独使用或集成到钛离子泵中的 NEG 泵和 TSP泵

• TiTan、NEG 和 TSP 部件可达到 450 °C 的加热除气温度

• 提供多种附件

• 用于操作离子泵的 DIGITEL 控制器，

• 用于不同应用的 TSP 和 NEG 泵

• 高真空电缆用于连接控制器和离子泵